HVPE腔體內(nèi)部測溫裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022461018.5 申請日 -
公開（公告）號 CN213148130U 公開（公告）日 2021-05-07
申請公布號 CN213148130U 申請公布日 2021-05-07
分類號 C23C16/44(2006.01)I;C30B25/02(2006.01)I;G01K1/14(2021.01)I;G05D23/00(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 王亮;鄭小超 申請（專利權(quán)）人 鎵特半導(dǎo)體科技（銅陵）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 銅陵市嘉同知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 吳晨亮
地址 244000安徽省銅陵市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)天門山北道3139號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了HVPE腔體內(nèi)部測溫裝置，它包括：HVPE腔體（6）和測溫探頭（4）；它還包括：門閥（7），所述門閥安裝于HVPE腔體底部；操作倉（5），所述操作倉固定連通于門閥底部；升降裝置，所述升降裝置安裝于操作倉底部用于將測溫探頭依次穿過操作倉和門閥送入HVPE腔體內(nèi)；測溫探頭固定裝置（3），所述測溫探頭固定裝置固定在升降桿的頂部；測溫探頭（4），所述測溫探頭固定在測溫探頭固定裝置上。本實用新型的有益效果是精確讀取HVPE腔體內(nèi)部的實際溫度，精確度和可靠性較高，提高了工藝對生長環(huán)境的控制，同時提高了產(chǎn)品的良率。對HVPE保養(yǎng)及溫控的追溯起到了很有利的作用，有效地降低生產(chǎn)成本。??