HVPE排氣、鎵分離收集裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202022168549.5 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN213327938U | 公開（公告）日 | 2021-06-01 |
| 申請公布號(hào) | CN213327938U | 申請公布日 | 2021-06-01 |
| 分類號(hào) | C30B29/40;C30B25/14;C22B58/00 | 分類 | 晶體生長〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 李枝旺;王亮 | 申請（專利權(quán)）人 | 鎵特半導(dǎo)體科技（銅陵）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 銅陵市嘉同知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 吳晨亮 |
| 地址 | 244000 安徽省銅陵市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)天門山北道3139號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了HVPE排氣、鎵分離收集裝置,它包括：反應(yīng)腔（1）；分流裝置（2），所述分流裝置通過腔體排氣管與反應(yīng)腔連通；法蘭（3），所述法蘭與分流裝置連通；第一閥門（4），所述第一閥門與分流裝置連通；鎵容器（5），所述鎵容器與第一閥門連通；第二閥門（6），所述第二閥門與鎵容器連通；排氣管路（7），所述排氣管路分別與第二閥門和法蘭連通。本實(shí)用新型的有益效果是金屬鎵會(huì)通過分流裝置流到鎵容器內(nèi)，不會(huì)流入排氣管中，鎵容器內(nèi)流入一定量金屬鎵時(shí)，關(guān)閉第一閥門和第二閥門，更換鎵容器即可，這樣整個(gè)過程不用更換排氣管。大大減少了設(shè)備保養(yǎng)頻率，從而提高了生產(chǎn)效率，同時(shí)更好的回收金屬鎵。而且所用裝置的結(jié)構(gòu)簡單有效。 |
