一種尋邊設(shè)備
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202121211035.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN215299193U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-12-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN215299193U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-12-24 |
| 分類號(hào) | H01L21/67（2006.01）I;H01L21/68（2006.01）I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 袁康;周鵬;李啟儀 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 江蘇索爾思通信科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京市領(lǐng)專知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 林輝輪;張玲 |
| 地址 | 213200江蘇省常州市金壇區(qū)東城街道晨風(fēng)路1036號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及一種尋邊設(shè)備，其特征在于，包括控制模塊、支撐模塊以及平邊檢測(cè)器，所述控制模塊包括控制器；所述支撐模塊包括機(jī)架、用于支撐并吸附晶圓的旋轉(zhuǎn)臺(tái)、以及用于驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)的電機(jī)，所述電機(jī)固定于機(jī)架，并與所述控制器相連；所述平邊檢測(cè)器設(shè)置于機(jī)架，并與所述控制器相連，且平邊檢測(cè)器與旋轉(zhuǎn)臺(tái)回轉(zhuǎn)中心之間具有所設(shè)定的間距，使得當(dāng)晶圓平邊在經(jīng)過(guò)平邊檢測(cè)器時(shí)，平邊檢測(cè)器從遮擋狀態(tài)變?yōu)槲幢徽趽鯛顟B(tài)并產(chǎn)生感應(yīng)信號(hào)；本尋邊設(shè)備，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊，設(shè)計(jì)合理，不僅可以自動(dòng)識(shí)別晶圓的平邊及平邊的方位，而且可以高精度的調(diào)整晶圓的方位，達(dá)到自動(dòng)預(yù)對(duì)位的目的。 |
