一種尋邊設備
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202121211035.1 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN215299193U | 公開（公告）日 | 2021-12-24 |
| 申請公布號 | CN215299193U | 申請公布日 | 2021-12-24 |
| 分類號 | H01L21/67（2006.01）I;H01L21/68（2006.01）I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 袁康;周鵬;李啟儀 | 申請（專利權）人 | 江蘇索爾思通信科技有限公司 |
| 代理機構 | 北京市領專知識產權代理有限公司 | 代理人 | 林輝輪;張玲 |
| 地址 | 213200江蘇省常州市金壇區(qū)東城街道晨風路1036號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型涉及一種尋邊設備，其特征在于，包括控制模塊、支撐模塊以及平邊檢測器，所述控制模塊包括控制器；所述支撐模塊包括機架、用于支撐并吸附晶圓的旋轉臺、以及用于驅動旋轉臺轉動的電機，所述電機固定于機架，并與所述控制器相連；所述平邊檢測器設置于機架，并與所述控制器相連，且平邊檢測器與旋轉臺回轉中心之間具有所設定的間距，使得當晶圓平邊在經過平邊檢測器時，平邊檢測器從遮擋狀態(tài)變?yōu)槲幢徽趽鯛顟B(tài)并產生感應信號；本尋邊設備，結構簡單、緊湊，設計合理，不僅可以自動識別晶圓的平邊及平邊的方位，而且可以高精度的調整晶圓的方位，達到自動預對位的目的。 |
