一種水浴系統(tǒng)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202121064822.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN216744933U | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-06-14 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN216744933U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-06-14 |
| 分類(lèi)號(hào) | F24H7/04（2006.01）I;F24H9/20（2022.01）I;F24H15/421（2022.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分類(lèi) | 供熱；爐灶；通風(fēng); |
| 發(fā)明人 | 袁康;田震超;張林健 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 江蘇索爾思通信科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京市領(lǐng)專(zhuān)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 213200江蘇省常州市金壇區(qū)東城街道晨風(fēng)路1036號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及一種水浴系統(tǒng)，包括水浴裝置，所述水浴裝置構(gòu)造有用于容納液體的內(nèi)部空腔，所述內(nèi)部空腔中設(shè)置有用于容納藥液的反應(yīng)容器，且反應(yīng)容器與內(nèi)部空腔的側(cè)壁之間設(shè)置有用于進(jìn)行熱交換的換熱管，控溫裝置，所述控溫裝置的進(jìn)液口和出液口分別通過(guò)管道與所述換熱管相連通并構(gòu)成循環(huán)回路，所述控溫裝置用于控制換熱管內(nèi)循環(huán)液的溫度；本實(shí)用新型所提供的水浴系統(tǒng)，結(jié)構(gòu)緊湊、設(shè)計(jì)合理，可以有效控制刻蝕過(guò)程中藥液的溫度，達(dá)到恒溫水浴的目的，不僅使得刻蝕速率可控，而且使得刻蝕形貌可控，有利于改善晶圓刻蝕后的形貌，有利于控制刻蝕效果。 |
