一種水浴系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121064822.8 申請日 -
公開（公告）號 CN216744933U 公開（公告）日 2022-06-14
申請公布號 CN216744933U 申請公布日 2022-06-14
分類號 F24H7/04（2006.01）I;F24H9/20（2022.01）I;F24H15/421（2022.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 供熱；爐灶；通風(fēng);
發(fā)明人 袁康;田震超;張林健 申請（專利權(quán)）人 江蘇索爾思通信科技有限公司
代理機構(gòu) 北京市領(lǐng)專知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 213200江蘇省常州市金壇區(qū)東城街道晨風(fēng)路1036號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種水浴系統(tǒng)，包括水浴裝置，所述水浴裝置構(gòu)造有用于容納液體的內(nèi)部空腔，所述內(nèi)部空腔中設(shè)置有用于容納藥液的反應(yīng)容器，且反應(yīng)容器與內(nèi)部空腔的側(cè)壁之間設(shè)置有用于進(jìn)行熱交換的換熱管，控溫裝置，所述控溫裝置的進(jìn)液口和出液口分別通過管道與所述換熱管相連通并構(gòu)成循環(huán)回路，所述控溫裝置用于控制換熱管內(nèi)循環(huán)液的溫度；本實用新型所提供的水浴系統(tǒng)，結(jié)構(gòu)緊湊、設(shè)計合理，可以有效控制刻蝕過程中藥液的溫度，達(dá)到恒溫水浴的目的，不僅使得刻蝕速率可控，而且使得刻蝕形貌可控，有利于改善晶圓刻蝕后的形貌，有利于控制刻蝕效果。