一種單晶硅生產(chǎn)導(dǎo)流裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120497072.7 申請日 -
公開（公告）號 CN214694455U 公開（公告）日 2021-11-12
申請公布號 CN214694455U 申請公布日 2021-11-12
分類號 C30B15/00（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 陳麗芳;孟祥宇 申請（專利權(quán)）人 錦州佑華硅材料有限公司
代理機構(gòu) 沈陽友和欣知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 楊群;郭悅
地址 121000遼寧省錦州市太和區(qū)錦州經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)邵陽路海景花園20-45號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種單晶硅生產(chǎn)導(dǎo)流裝置，包括外導(dǎo)流筒和內(nèi)導(dǎo)流筒，所述外導(dǎo)流筒的內(nèi)側(cè)面上方設(shè)有固定塊，所述固定塊和外導(dǎo)流筒之間對應(yīng)位置分別設(shè)有限制裝置，限制裝置由第一彈簧、支柱、第一安裝塊、第一卡桿、限制桿組成。本實用新型所述的一種單晶硅生產(chǎn)導(dǎo)流裝置，屬于單晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，通過設(shè)有的限制裝置和限位裝置配合固定塊、連接塊、第一卡塊、支塊、第二卡塊之間的組合使用使其導(dǎo)流筒內(nèi)外筒之間連接強度增加，連接的更加牢固，連接的更加緊密，從而解決了導(dǎo)流筒內(nèi)外筒連接結(jié)構(gòu)容易導(dǎo)致外導(dǎo)流筒脫落，進而造成硅料污染的問題，同時內(nèi)導(dǎo)流筒構(gòu)成和保溫層的設(shè)計使用使其溫度梯度大，提高拉速效率，使用更加的方便，實用性更強。