一種真空鍍膜設(shè)備的冷阱裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201920333393.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN209652407U 公開（公告）日 2019-11-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN209652407U 申請(qǐng)公布日 2019-11-19
分類號(hào) C23C14/22（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 劉振波; 霍錦輝; 張向陽 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳海容高新材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 518000 廣東省深圳市粵海街道高新區(qū)社區(qū)高新南七道20號(hào)深圳國(guó)家工程實(shí)驗(yàn)室大樓B903
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型為一種真空鍍膜設(shè)備的冷阱裝置，包括箱體，所述箱體內(nèi)部左右兩側(cè)各連接有多個(gè)呈水平放置且呈相互交錯(cuò)放置的承載板，所述承載板上下兩面及箱體上下兩內(nèi)側(cè)面固定有呈可拆卸的擋板組，所述擋板組，包括固定板、設(shè)置在固定板上具有多個(gè)呈均勻間隔排列的擋板及冷卻管，所述冷卻管包括有數(shù)條接觸段以及數(shù)條貫穿擋板的貫穿段，所述接觸段貼合于各個(gè)擋板的一側(cè)面，所述貫穿段連接于相鄰兩條接觸段，該實(shí)用新型的擋板組可根據(jù)需要通過裝卸擋板組來調(diào)整冷卻路徑的長(zhǎng)度，實(shí)現(xiàn)對(duì)有害物質(zhì)完全捕捉。