一種真空鍍膜設備的冷阱裝置
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN201920333393.6 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN209652407U | 公開(公告)日 | 2019-11-19 |
申請公布號 | CN209652407U | 申請公布日 | 2019-11-19 |
分類號 | C23C14/22(2006.01)I | 分類 | 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面化學處理;金屬材料的擴散處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆;金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
發(fā)明人 | 劉振波; 霍錦輝; 張向陽 | 申請(專利權)人 | 深圳海容高新材料科技有限公司 |
代理機構 | - | 代理人 | - |
地址 | 518000 廣東省深圳市粵海街道高新區(qū)社區(qū)高新南七道20號深圳國家工程實驗室大樓B903 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本實用新型為一種真空鍍膜設備的冷阱裝置,包括箱體,所述箱體內部左右兩側各連接有多個呈水平放置且呈相互交錯放置的承載板,所述承載板上下兩面及箱體上下兩內側面固定有呈可拆卸的擋板組,所述擋板組,包括固定板、設置在固定板上具有多個呈均勻間隔排列的擋板及冷卻管,所述冷卻管包括有數(shù)條接觸段以及數(shù)條貫穿擋板的貫穿段,所述接觸段貼合于各個擋板的一側面,所述貫穿段連接于相鄰兩條接觸段,該實用新型的擋板組可根據(jù)需要通過裝卸擋板組來調整冷卻路徑的長度,實現(xiàn)對有害物質完全捕捉。 |
