藍(lán)寶石生長(zhǎng)設(shè)備及其籽晶快速更換裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201020287649.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN201778147U 公開(kāi)（公告）日 2011-03-30
申請(qǐng)公布號(hào) CN201778147U 申請(qǐng)公布日 2011-03-30
分類(lèi)號(hào) C30B29/20(2006.01)I;C30B15/00(2006.01)I 分類(lèi) 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 程亮 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 上海昀豐光電技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 逯長(zhǎng)明
地址 201201 上海市張江高科技產(chǎn)業(yè)東區(qū)勝利路836號(hào)7幢甲501
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種籽晶快速更換裝置，用于對(duì)藍(lán)寶石生長(zhǎng)設(shè)備中的籽晶進(jìn)行快速更換，包括：依次設(shè)置在所述藍(lán)寶石生長(zhǎng)設(shè)備的頂蓋和波紋管之間的插板閥和隔離室，所述隔離室上設(shè)置有排氣閥。本實(shí)用新型實(shí)施例提供的籽晶快速更換裝置，縮短了籽晶更換的時(shí)間，同時(shí)減少了籽晶在更換過(guò)程中能源的消耗，消除了現(xiàn)有的籽晶更換過(guò)程中對(duì)各個(gè)部件損壞的風(fēng)險(xiǎn)。基于上述實(shí)施例提供的籽晶快速更換裝置，本實(shí)用新型實(shí)施例還提供了一種具有上述籽晶快速更換裝置的藍(lán)寶石生長(zhǎng)設(shè)備。