一種高純氣體中微量雜質(zhì)分析的氣相色譜檢測(cè)系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202023119579.3 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN213957266U 公開(公告)日 2021-08-13
申請(qǐng)公布號(hào) CN213957266U 申請(qǐng)公布日 2021-08-13
分類號(hào) G01N30/20(2006.01)I;G01N30/06(2006.01)I;G01N30/64(2006.01)I 分類 測(cè)量;測(cè)試;
發(fā)明人 閆云;段亞林;朱伶露;杜新利;吳晗;韓述宇;張素靜 申請(qǐng)(專利權(quán))人 河南心連心深冷能源股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 鄭州隆盛專利代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 崔偉;何強(qiáng)
地址 453731河南省新鄉(xiāng)市經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)青龍路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種高純氣體中微量雜質(zhì)分析的氣相色譜檢測(cè)系統(tǒng),涉及氣體檢測(cè)領(lǐng)域,包括色譜柱箱、氦離子型檢測(cè)器PDD,所述色譜柱箱包括載0、載1、載2、載3氣路,切換閥V1以及切換閥V2、切換閥V3和切換閥V4,切換閥V1與切換閥V4之間設(shè)有預(yù)分離柱PQ1;切換閥V4與切換閥V2之間設(shè)有第一分子篩色譜柱5A1;切換閥V2與切換閥V3之間設(shè)有第二分子篩色譜柱5A2,切換閥V1與切換閥V3之間設(shè)有第二分離柱PQ2,切換閥V3的二號(hào)接口與氦離子檢測(cè)器PDD連接,具備整體分析過(guò)程自動(dòng)化控制、動(dòng)作快速一致可靠的優(yōu)點(diǎn)。