一種硅片清洗輔助架
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021870250.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN213134254U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-05-07 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN213134254U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-05-07 |
| 分類號(hào) | B08B3/08(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 商煒 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 鎮(zhèn)江晶鼎光電科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 蘇州市方略專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 李玉婷 |
| 地址 | 212000江蘇省鎮(zhèn)江市新區(qū)潘宗路38號(hào)健康食品產(chǎn)業(yè)園13號(hào)樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 一種硅片清洗輔助架，包括：前置板、后置板、支撐欄桿、支撐底座，所述前置板和后置板平行設(shè)置，所述支撐欄桿設(shè)置在前置板和后置板之間，且所述支撐欄桿有兩個(gè)對(duì)稱設(shè)置在前置板和后置板的上端；所述支撐底座設(shè)置在前置板和后置板的下端部，且所述支撐底座的兩端部分別約前置板和后置板的底部居中處連接。可使硅片排列均勻、放置穩(wěn)定；進(jìn)一步保障自動(dòng)化硅片清洗的可行性；底座的夾板可對(duì)硅片進(jìn)行夾持，進(jìn)一步提高穩(wěn)定性，且清洗完成后可直接將支撐底座可硅片同時(shí)取出，方便后續(xù)操作。?? |
