一種離子濺射鍍膜機急削工裝
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN202021866888.4 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN213113474U | 公開(公告)日 | 2021-05-04 |
申請公布號 | CN213113474U | 申請公布日 | 2021-05-04 |
分類號 | C23C14/34;C23C14/54 | 分類 | 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面化學(xué)處理;金屬材料的擴散處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆;金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
發(fā)明人 | 商煒 | 申請(專利權(quán))人 | 鎮(zhèn)江晶鼎光電科技有限公司 |
代理機構(gòu) | 蘇州市方略專利代理事務(wù)所(普通合伙) | 代理人 | 李玉婷 |
地址 | 212000 江蘇省鎮(zhèn)江市新區(qū)潘宗路38號健康食品產(chǎn)業(yè)園13號樓 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 一種離子濺射鍍膜機急削工裝,包括:左調(diào)節(jié)板、右調(diào)節(jié)板、橫梁、支撐板、電機,所述支撐板與橫梁為T字形連接,所述支撐板的一端部與橫梁的居中處連接;所述左調(diào)節(jié)板和右調(diào)節(jié)板對稱設(shè)置在遠(yuǎn)離支撐板的橫梁的兩端;所述電機設(shè)置在支撐板的上部遠(yuǎn)離橫梁的一端。本實用新型所述的離子濺射鍍膜機急削工裝,結(jié)構(gòu)設(shè)計簡單,易于制造使用;可通過控制靶材裸露的面積來控制薄膜沉積的速率,操作便捷;通過電機控制,其電機原理坩堝,防止電機受到鍍膜影響,延長工裝的使用壽命。 |
