提升耐壓工藝窗口的超結(jié)器件

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111487782.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113889525B 公開（公告）日 2022-03-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN113889525B 申請(qǐng)公布日 2022-03-18
分類號(hào) H01L29/06（2006.01）I;H01L29/165（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李呂強(qiáng);陳輝;王加坤 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 杭州芯邁半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海光華專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 賀妮妮
地址 310051浙江省杭州市濱江區(qū)西興街道聯(lián)慧街6號(hào)1-1201
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種提升耐壓工藝窗口的超結(jié)器件，包括：半導(dǎo)體襯底；沉積于半導(dǎo)體襯底上的外延層，外延層包括第一半導(dǎo)體層及層疊于其上的第二半導(dǎo)體層，且第一半導(dǎo)體層的禁帶寬度大于第二半導(dǎo)體層的禁帶寬度；形成于外延層中的超結(jié)結(jié)構(gòu)，超結(jié)結(jié)構(gòu)包括至少一個(gè)第一導(dǎo)電類型的第一外延柱及至少一個(gè)第二導(dǎo)電類型的第二外延柱，第一外延柱與第二外延柱橫向交替排布。通過采用具有夾層結(jié)構(gòu)的外延層制備超結(jié)結(jié)構(gòu)，由于下層的禁帶寬度大于上層的禁帶寬度，當(dāng)超結(jié)結(jié)構(gòu)在中部區(qū)域電場(chǎng)高于兩端的電場(chǎng)時(shí)，由于第一半導(dǎo)體層的臨界電場(chǎng)大于第二半導(dǎo)體層的臨界電場(chǎng)，可以保證中部區(qū)域不提前擊穿，從而可以在保證超結(jié)結(jié)構(gòu)的高耐壓下擴(kuò)大耐壓工藝窗口。