一種擴(kuò)晶裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120737933.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN214313175U 公開（公告）日 2021-09-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN214313175U 申請(qǐng)公布日 2021-09-28
分類號(hào) H01L21/687（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張勇;陳樹斌 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 東莞觸點(diǎn)智能裝備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 牛亭亭
地址 523000廣東省東莞市松山湖園區(qū)工業(yè)北四路1號(hào)5棟312室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型實(shí)施例公開了一種擴(kuò)晶裝置，用于解決現(xiàn)有擴(kuò)晶裝置中的晶圓臺(tái)無(wú)法進(jìn)行位置調(diào)整，導(dǎo)致工作效率較低的技術(shù)問(wèn)題。本實(shí)用新型實(shí)施例包括底座、X軸直線驅(qū)動(dòng)模組、Y軸直線驅(qū)動(dòng)模組、承托板以及晶圓臺(tái)；所述X軸直線驅(qū)動(dòng)模組安裝于所述底座上，所述Y軸直線驅(qū)動(dòng)模組連接于所述X軸直線驅(qū)動(dòng)模組上，所述X軸直線驅(qū)動(dòng)模組可驅(qū)動(dòng)所述Y軸直線驅(qū)動(dòng)模組沿X軸方向移動(dòng)，所述承托板連接于所述Y軸直線驅(qū)動(dòng)模組上，所述Y軸直線驅(qū)動(dòng)模組可驅(qū)動(dòng)所述承托板沿Y軸方向移動(dòng)，所述晶圓臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)連接于所述承托板上，所述承托板上安裝有旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)模組，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)模組與所述晶圓臺(tái)連接，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)模組可驅(qū)動(dòng)所述晶圓臺(tái)相對(duì)于所述承托板轉(zhuǎn)動(dòng)。