一種IPA干燥設(shè)備
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202020370009.2 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212093429U | 公開（公告）日 | 2020-12-08 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212093429U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-12-08 |
| 分類號(hào) | B08B3/02(2006.01)I | 分類 | 清潔; |
| 發(fā)明人 | 周杰;張琪;李俊毅;楊濤 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 新毅東（上海）科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 合肥律眾知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 丁孝濤 |
| 地址 | 100043北京市石景山區(qū)政達(dá)路6號(hào)院4號(hào)樓12層1212 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種IPA干燥設(shè)備，具體涉及IPA干燥技術(shù)領(lǐng)域，所述內(nèi)機(jī)體頂部還設(shè)置氮?dú)馓畛溲b置，所述干燥機(jī)構(gòu)包括固定于內(nèi)機(jī)體內(nèi)壁上的放置槽板、安裝于放置槽板內(nèi)的多個(gè)均勻設(shè)置的隔離板和連接于放置槽板中心處下方的連接管，所述放置槽板外壁與內(nèi)機(jī)體內(nèi)壁相吻合，所述放置槽板中部下陷設(shè)置，多個(gè)所述隔離板的底部開設(shè)有引流孔，所述連接管內(nèi)部向下延伸有回收管；所述內(nèi)機(jī)體外部設(shè)置有外機(jī)體，所述外機(jī)體頂端套設(shè)于內(nèi)機(jī)體的頂部。本實(shí)用新型能夠大幅度的提升硅片在進(jìn)行IPA清洗過程之中的清洗速率和清洗效果，利用傾斜的放置槽板和引流孔，對(duì)清洗過程產(chǎn)生的污液可進(jìn)行回收，減少清洗殘留對(duì)下一輪清洗干燥造成影響。?? |
