一種光刻機的光刻板取料裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011384582.X 申請日 -
公開（公告）號 CN112722817A 公開（公告）日 2021-04-30
申請公布號 CN112722817A 申請公布日 2021-04-30
分類號 B65G47/90 分類 輸送；包裝；貯存；搬運薄的或細絲狀材料;
發(fā)明人 周杰;張琪;符友銀;李俊毅 申請（專利權）人 新毅東（上海）科技有限公司
代理機構 合肥律眾知識產權代理有限公司 代理人 侯克邦
地址 100043 北京市石景山區(qū)政達路6號院4號樓12層1212
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種光刻機的光刻板取料裝置，包括工作臺，工作臺底部設置有支座，支座頂部與工作臺底部連接；支座兩側頂部均連接有墊臺，兩個墊臺頂面均安裝有第一滑軌，兩個第一滑軌底部分別與兩個墊臺的頂面通過螺釘連接；第一滑軌上安裝有取板裝置，取板裝置兩側底部分別與兩個第一滑軌滑動連接；工作臺遠離光刻板存放處的一端設置有控制臺，控制臺背面與工作臺通過連接線電性連接；操作人員將一定量光刻板放在桌體表面，整體夾持裝置通過墊臺滑軌移動，到光刻板存放點上方后，夾持架則會降下，伸縮桿收縮將光刻板夾緊，可運輸至桌體表面任意位置，節(jié)省拿取更換光刻板的時間，矩形收縮夾持更加牢固，不會損壞光刻板表面，兼顧效率和質量。