一種半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)用接觸式光刻機

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011388275.9 申請日 -
公開（公告）號 CN112558424A 公開（公告）日 2021-03-26
申請公布號 CN112558424A 申請公布日 2021-03-26
分類號 G03F7/20(2006.01)I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 周杰;張琪;符友銀;李俊毅 申請（專利權(quán)）人 新毅東（上海）科技有限公司
代理機構(gòu) 合肥律眾知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 侯克邦
地址 100043北京市石景山區(qū)政達路6號院4號樓12層1212
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)用接觸式光刻機，包括底座和固定座，固定座活動連接在底座的內(nèi)部，底座內(nèi)部兩側(cè)固定連接有第一固定板，第一固定板頂部固定連接有支撐板，支撐板一側(cè)固定連接有連接板，連接板一側(cè)固定連接有第二固定板，第二固定板一側(cè)固定連接在底座的內(nèi)壁上，支撐板之間活動連接有隔板，其中隔板底部固定連接有限位塊，并且隔板底部兩側(cè)固定連接有減震板，減震板底部固定連接有氣缸，氣缸一端固定連接在底座的內(nèi)壁上，隔板頂部固定連接有三個電動推桿。該種半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)用接觸式光刻機，解決了現(xiàn)有接觸式光刻機無法調(diào)節(jié)高度，不便于工作人員使用的問題，同時具有良好的固定功能和減震功能。??