一種用于光刻機(jī)的晶圓載臺(tái)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011388274.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN112614805A | 公開（公告）日 | 2021-04-06 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112614805A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-04-06 |
| 分類號(hào) | H01L21/687(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 周杰;張琪;符友銀;李俊毅 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 新毅東（上海）科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 合肥律眾知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 侯克邦 |
| 地址 | 100043北京市石景山區(qū)政達(dá)路6號(hào)院4號(hào)樓12層1212 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種用于光刻機(jī)的晶圓載臺(tái)，包括晶圓載臺(tái)本體，晶圓載臺(tái)本體的底部固定連接有承載柱，晶圓載臺(tái)本體的外側(cè)固定連接有三個(gè)支撐板，支撐板的一側(cè)固定連接有限位柱，晶圓載臺(tái)本體的頂部設(shè)置有晶圓，晶圓的正下方設(shè)置有光學(xué)傳感器，光學(xué)傳感器的設(shè)置范圍應(yīng)在晶圓的圓周范圍內(nèi)，三個(gè)支撐板沿晶圓載臺(tái)本體的圓心設(shè)置，且每個(gè)支撐板之間夾角的度數(shù)為120°，支撐板的頂面與晶圓載臺(tái)本體的頂面平齊，支撐板的厚度為晶圓載臺(tái)本體的厚度的二分之一。該種用于光刻機(jī)的晶圓載臺(tái)，可有效的使晶圓能夠平穩(wěn)的放置在晶圓載臺(tái)本體的上表面，使晶圓不會(huì)產(chǎn)生傾斜，避免晶圓被損壞，造成損失，使晶圓可輕松的從晶圓載臺(tái)本體上進(jìn)行拆卸。?? |
