一種便于調(diào)節(jié)的雙工位直投式光刻機(jī)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011386436.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN112558423A | 公開（公告）日 | 2021-03-26 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112558423A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-03-26 |
| 分類號(hào) | G03F7/20(2006.01)I;G03F9/00(2006.01)I | 分類 | 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 周杰;張琪;符友銀;李俊毅 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 新毅東（上海）科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 合肥律眾知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 侯克邦 |
| 地址 | 100043北京市石景山區(qū)政達(dá)路6號(hào)院4號(hào)樓12層1212 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種便于調(diào)節(jié)的雙工位直投式光刻機(jī)，包括底座，底座的頂端固定開設(shè)有凹槽，凹槽內(nèi)設(shè)置有工作臺(tái)，且工作臺(tái)的頂端設(shè)置有傳送臺(tái)；傳送臺(tái)由輸送帶、主動(dòng)輪和從動(dòng)輪構(gòu)成，且主動(dòng)輪與從動(dòng)輪通過輸送帶傳送連接；傳送臺(tái)的頂部設(shè)置有第一固定架和第二固定架，且第一固定架設(shè)置在第二固定架的一側(cè)；第一固定架一側(cè)的頂端設(shè)置有對(duì)位相機(jī)，第二固定架一側(cè)的頂端設(shè)置有鏡筒。該種便于調(diào)節(jié)的雙工位直投式光刻機(jī)的底座內(nèi)設(shè)置有液壓缸，液壓缸的伸縮端與工作臺(tái)的底端固定連接，可通過液壓缸實(shí)現(xiàn)工作臺(tái)的升降，對(duì)工作臺(tái)的高度進(jìn)行調(diào)節(jié)，當(dāng)需要對(duì)第一固定架和第二固定架上的對(duì)位相機(jī)和鏡筒進(jìn)行調(diào)節(jié)時(shí)可通過液壓缸降低工作臺(tái)的高度。?? |
