一種光刻機(jī)的晶片傳送裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202011384580.0 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN112614798A | 公開（公告）日 | 2021-04-06 |
| 申請公布號 | CN112614798A | 申請公布日 | 2021-04-06 |
| 分類號 | H01L21/677(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 周杰;張琪;符友銀;李俊毅 | 申請（專利權(quán)）人 | 新毅東（上海）科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 合肥律眾知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 侯克邦 |
| 地址 | 100043北京市石景山區(qū)政達(dá)路6號院4號樓12層1212 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種光刻機(jī)的晶片傳送裝置，包括密封外殼和分流密封外殼，密封外殼的左側(cè)與分流密封外殼的右側(cè)連接；密封外殼頂面安裝有氣泵，氣泵右側(cè)設(shè)置有輸氣管，輸氣管的兩端分別與氣泵右側(cè)和密封外殼頂面右部連通；密封外殼底面安裝有支架，支架底部安裝有支撐柱，支撐柱的上下兩端分別與支架底部和地面連接；密封外殼右端一側(cè)地面上安置有氮?dú)馄?，氮?dú)馄宽敳颗c氣泵頂部連通；該傳送裝置加裝密封外殼，可有效隔絕空氣，防止晶片受潮氧化，氮?dú)馄亢蜌獗脤⒌獨(dú)馑腿朐O(shè)備內(nèi)對晶片吹干清理，防止落灰或受潮，分流臺表面的小型旋轉(zhuǎn)輥可旋轉(zhuǎn)改變轉(zhuǎn)動朝向，從而改變輸送物的流向，可將不同類型的晶片載板分流至相應(yīng)的作業(yè)傳送帶上，高效便利。?? |
