一種光刻機(jī)自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011388271.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN112558436A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-03-26 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112558436A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-03-26 |
| 分類(lèi)號(hào) | G03F9/00(2006.01)I | 分類(lèi) | 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類(lèi)似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 周杰;張琪;符友銀;李俊毅 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 新毅東（上海）科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 合肥律眾知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 侯克邦 |
| 地址 | 100043北京市石景山區(qū)政達(dá)路6號(hào)院4號(hào)樓12層1212 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種光刻機(jī)自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，包括底座、掩磨對(duì)準(zhǔn)臺(tái)、對(duì)準(zhǔn)模塊，底座的頂端固定安裝有工作臺(tái)，工作臺(tái)的頂端中部固定安裝有掩磨對(duì)準(zhǔn)臺(tái)，掩磨對(duì)準(zhǔn)臺(tái)的兩側(cè)均通過(guò)導(dǎo)管固定連接有固定件，固定件與工作臺(tái)相互固定，掩磨對(duì)準(zhǔn)臺(tái)的頂端固定連接有掩磨板，掩磨板的頂端中部固定設(shè)置有加工盤(pán)，加工盤(pán)的中部固定設(shè)置有晶圓槽，晶圓槽的內(nèi)部固定設(shè)置有對(duì)準(zhǔn)模塊，晶圓槽的底端兩側(cè)分別傾斜設(shè)置有反射鏡。該種發(fā)明通過(guò)電機(jī)與螺紋桿之間的轉(zhuǎn)動(dòng)連接從而帶動(dòng)滑動(dòng)塊進(jìn)行橫向移動(dòng)，連接支架的的一側(cè)安裝有準(zhǔn)直透鏡，準(zhǔn)直透鏡的中部設(shè)有紅外對(duì)準(zhǔn)器能夠與加工盤(pán)內(nèi)部設(shè)有的對(duì)準(zhǔn)模塊相互對(duì)準(zhǔn)，控制板控制電機(jī)進(jìn)行微調(diào)，從而更加準(zhǔn)確的對(duì)準(zhǔn)。?? |
