一種光刻機(jī)生產(chǎn)用硅半導(dǎo)體的硅晶片腐化池

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202021502878.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN213366533U 公開(kāi)（公告）日 2021-06-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN213366533U 申請(qǐng)公布日 2021-06-04
分類號(hào) H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李俊毅;陳舜欽;姚恒裕;林雅芳 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 新毅東（上海）科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 泉州市興博知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 易敏
地址 100000 北京市石景山區(qū)政達(dá)路6號(hào)院4號(hào)樓12層1212
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及光刻機(jī)領(lǐng)域，尤其涉及一種光刻機(jī)生產(chǎn)用硅半導(dǎo)體的硅晶片腐化池。本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種能夠加快晶圓腐蝕速度提高生成電路進(jìn)程的光刻機(jī)生產(chǎn)用硅半導(dǎo)體的硅晶片腐化池。一種光刻機(jī)生產(chǎn)用硅半導(dǎo)體的硅晶片腐化池，包括有安裝筒、腐化劑池、十字放置架、卡接片、驅(qū)動(dòng)組件、出液管和閥門；腐化劑池固接于安裝筒頂部；出液管固接于腐化劑池側(cè)壁，且與腐化劑池內(nèi)連通；閥門固接于出液管；驅(qū)動(dòng)組件固接于安裝筒內(nèi)壁，且輸出端貫穿腐化劑池向腐化劑池內(nèi)延伸。本實(shí)用新型達(dá)到了加快晶圓腐蝕速度提高生成電路進(jìn)程的效果。