一種激光光能回收型光刻機(jī)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021462204.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212276215U | 公開（公告）日 | 2021-01-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212276215U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-01-01 |
| 分類號(hào) | G03F7/20(2006.01)I | 分類 | 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 李俊毅;陳舜欽;姚恒裕;李雅瑜;林雅芳 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 新毅東（上海）科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 泉州市興博知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 福建安芯半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 地址 | 100000 北京市石景山區(qū)政達(dá)路6號(hào)院4號(hào)樓12層1212 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種激光光能回收型光刻機(jī)，其結(jié)構(gòu)包括下機(jī)體、底座、凹槽、蓄電池、充電控制器、操作器、電源線、上機(jī)體、可視窗、第一凈化裝置、流通裝置、運(yùn)作組件、掩模臺(tái)、物鏡、曝光臺(tái)、微調(diào)機(jī)構(gòu)和第二凈化裝置，所述下機(jī)體底端與底座焊接，所述下機(jī)體左端設(shè)置有凹槽，本實(shí)用新型具有以下有益效果，通過在運(yùn)作組件處的第一殼管、第二殼管和第三殼管內(nèi)壁分別設(shè)置金屬片層，而金屬片層內(nèi)壁設(shè)置太陽能薄膜電池層，達(dá)到了通過加設(shè)散射光轉(zhuǎn)電部件以減少電量損耗的有益效果；并且通過在上機(jī)體頂端分別設(shè)置第一凈化裝置和第二凈化裝置，達(dá)到了加設(shè)多重處理部件以提高抽取空氣潔凈度的有益效果。?? |
