光刻膠組合物、用它形成光刻圖案的方法及其用途

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010811408.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN111948904A 公開(kāi)（公告）日 2020-11-17
申請(qǐng)公布號(hào) CN111948904A 申請(qǐng)公布日 2020-11-17
分類(lèi)號(hào) G03F7/004;G03F7/027;G03F7/00 分類(lèi) 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類(lèi)似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 徐宏;何向明;王倩倩 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 常州華睿芯材科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京華進(jìn)京聯(lián)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王勤思
地址 213100 江蘇省常州市常州西太湖科技產(chǎn)業(yè)園祥云路6號(hào)3號(hào)樓1樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種光刻膠組合物，包括：金屬氧化物納米簇，所述金屬氧化物納米簇包括金屬氧化物內(nèi)核和與所述金屬氧化物內(nèi)核配位的有機(jī)配體，其分子通式為MxOy（OH）mLn，M為金屬元素，L為所述有機(jī)配體，且為含有雙鍵的有機(jī)基團(tuán)，4≤x≤8，2≤y≤8，0≤m≤4，12≤n≤16；光產(chǎn)酸劑；自由基淬滅劑；以及溶劑。本發(fā)明進(jìn)一步涉及用所述光刻膠組合物形成光刻圖案的方法和光刻膠組合物的用途。