一種具有良好氣密性和高可靠安裝精度的離子源

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110778228.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113453412A 公開(kāi)（公告）日 2021-09-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN113453412A 申請(qǐng)公布日 2021-09-28
分類(lèi)號(hào) H05H7/08（2006.01）I 分類(lèi) 其他類(lèi)目不包含的電技術(shù);
發(fā)明人 石金水;陳宇航;張晨;王丹;鄧建軍;馬瑞利 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 四川玖誼源粒子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都東唐智宏專(zhuān)利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 羅言剛
地址 621000四川省綿陽(yáng)市經(jīng)開(kāi)區(qū)二環(huán)路南段351號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種具有良好氣密性和高可靠安裝精度的離子源，包括陽(yáng)極筒本體，所述陽(yáng)極筒本體安裝在離子源支座的左端；所述陽(yáng)極筒本體的內(nèi)部安裝有準(zhǔn)直器本體；陰極桿，所述陰極桿安裝在離子源支座上，且陰極桿的內(nèi)側(cè)設(shè)置有標(biāo)準(zhǔn)陶瓷墊片，并且標(biāo)準(zhǔn)陶瓷墊片的內(nèi)側(cè)設(shè)置有接線(xiàn)柱。該具有良好氣密性和高可靠安裝精度的離子源，離子源結(jié)構(gòu)優(yōu)化在陰極桿和陽(yáng)極筒的安裝精度以及安裝的工作效率有所提升，大幅度減少了離子源安裝的工作量，提高離子源安裝的工作效率，且在離子源整體的氣密性方面也有著大幅度的提升，減少了氫氣的損失量；且該離子源支座結(jié)構(gòu)環(huán)境接受度高，制作成本合適，經(jīng)濟(jì)性好。