一種具有良好氣密性和高可靠安裝精度的離子源

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110778228.3 申請日 -
公開（公告）號 CN113453412A 公開（公告）日 2021-09-28
申請公布號 CN113453412A 申請公布日 2021-09-28
分類號 H05H7/08（2006.01）I 分類 其他類目不包含的電技術;
發(fā)明人 石金水;陳宇航;張晨;王丹;鄧建軍;馬瑞利 申請（專利權）人 四川玖誼源粒子科技有限公司
代理機構 成都東唐智宏專利代理事務所（普通合伙） 代理人 羅言剛
地址 621000四川省綿陽市經開區(qū)二環(huán)路南段351號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種具有良好氣密性和高可靠安裝精度的離子源，包括陽極筒本體，所述陽極筒本體安裝在離子源支座的左端；所述陽極筒本體的內部安裝有準直器本體；陰極桿，所述陰極桿安裝在離子源支座上，且陰極桿的內側設置有標準陶瓷墊片，并且標準陶瓷墊片的內側設置有接線柱。該具有良好氣密性和高可靠安裝精度的離子源，離子源結構優(yōu)化在陰極桿和陽極筒的安裝精度以及安裝的工作效率有所提升，大幅度減少了離子源安裝的工作量，提高離子源安裝的工作效率，且在離子源整體的氣密性方面也有著大幅度的提升，減少了氫氣的損失量；且該離子源支座結構環(huán)境接受度高，制作成本合適，經濟性好。