顯微掃描裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201820524863.2 申請日 -
公開(公告)號 CN207991481U 公開(公告)日 2018-10-19
申請公布號 CN207991481U 申請公布日 2018-10-19
分類號 G01B11/24;G01N21/88 分類 測量;測試;
發(fā)明人 楊景中 申請(專利權(quán))人 上海中晶科技有限公司
代理機構(gòu) 上海專利商標事務所有限公司 代理人 上海中晶科技有限公司
地址 200233 上海市徐匯區(qū)上海市桂平路680號35號樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種顯微掃描裝置,包含一擷像機構(gòu)以及一物件驅(qū)動機構(gòu)。擷像機構(gòu)包含一分光元件、一感光元件、一成像鏡、一顯微物鏡以及一光源。分光元件具有一第一光路、一第二光路以及一第三光路。光源設置于第三光路上,且光源提供一照明光經(jīng)由分光元件至物件。其中,照明光沿第三光路以及第二光路到達物件,且影像光沿第二光路以及第一光路到感光元件。物件驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動物件移動或轉(zhuǎn)動,以供擷像機構(gòu)在同軸照明下掃描物件。