一種正性光刻膠用顯影液及其應(yīng)用
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201710825460.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN107357140B | 公開（公告）日 | 2021-05-04 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN107357140B | 申請(qǐng)公布日 | 2021-05-04 |
| 分類號(hào) | G03F7/32 | 分類 | 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 李森虎;殷福華;徐輝;趙文虎;顧玲燕 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 江陰江化微電子材料股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 無(wú)錫堅(jiān)恒專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 杜興 |
| 地址 | 214400 江蘇省無(wú)錫市江陰市周莊鎮(zhèn)長(zhǎng)壽云顧路581號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種正性光刻膠用顯影液，主要組分包含堿源、潤(rùn)濕分散劑、金屬保護(hù)劑、水和顯影增強(qiáng)劑，顯影增強(qiáng)劑為選自硼酸、C2～C4的羥基酸中的一種或兩種的組合，堿源與顯影增強(qiáng)劑的摩爾比為1：（0.05～0.2）。本發(fā)明正性光刻膠用顯影液通過(guò)加入顯影增強(qiáng)劑，形成堿性的緩沖溶液，調(diào)節(jié)顯影液中氫氧根的初始濃度，隨著氫氧根的持續(xù)消耗，推動(dòng)了緩沖溶液物質(zhì)水合反應(yīng)的進(jìn)行生成氫氧根，顯影速度適中。本發(fā)明還公開了正性光刻膠用顯影液的制備方法及應(yīng)用。 |
