重錘裝置和用于晶棒生長的提拉機構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120079282.4 申請日 -
公開（公告）號 CN214193512U 公開（公告）日 2021-09-14
申請公布號 CN214193512U 申請公布日 2021-09-14
分類號 C30B15/30;C30B29/06 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 吳世海 申請（專利權(quán)）人 西安奕斯偉設(shè)備技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 北京銀龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 許靜;陳麗寧
地址 710000 陜西省西安市高新區(qū)丈八街辦瞪羚路26號西安理工大學(xué)科技園E2-002
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種重錘裝置，包括重錘本體和位于重錘本體相對的兩端的軟軸連接結(jié)構(gòu)和籽晶連接結(jié)構(gòu)，軟軸連接結(jié)構(gòu)包括第一連接部、連接套、連接鉬銷和鉬銷擋套；第一連接部設(shè)置于重錘本體的軸向方向上的第一端，并沿重錘本體的軸向方向延伸設(shè)置，第一連接部的外周面上設(shè)置有沿第一方向延伸并貫穿第一連接部的第一銷孔，第一方向為與重錘本體的軸向方向相垂直的方向；沿重錘本體的軸向方向，連接套包括用于容納軟軸的第一部分和供第一連接部插入的第二部分，第二部分設(shè)置有與第一銷孔相配合以供連接鉬銷穿過的第二銷孔；鉬銷擋套在連接鉬銷將第一連接部和連接套連接后，套設(shè)于連接鉬銷的外部。本實用新型還涉及用于晶棒生長的提拉機構(gòu)。