一種檢測(cè)設(shè)備和單晶爐

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110256410.2 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN113049022A 公開(公告)日 2021-06-29
申請(qǐng)公布號(hào) CN113049022A 申請(qǐng)公布日 2021-06-29
分類號(hào) G01D21/00;C30B15/00;C30B29/06;G08C19/00 分類 測(cè)量;測(cè)試;
發(fā)明人 王富龍 申請(qǐng)(專利權(quán))人 西安奕斯偉設(shè)備技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 黃燦;顧春天
地址 710000 陜西省西安市高新區(qū)丈八街辦瞪羚路26號(hào)西安理工大學(xué)科技園E2-002
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種檢測(cè)設(shè)備和單晶爐。檢測(cè)設(shè)備應(yīng)用于單晶爐,單晶爐包括爐體、密封爐體的密封件以及設(shè)置于爐體上的提拉軟軸,提拉軟軸的材料包括金屬材料,提拉軟軸與爐體之間密封且絕緣設(shè)置,且提拉軟軸的一端延伸至爐體內(nèi)部,另一端位于爐體的外側(cè);檢測(cè)設(shè)備包括相互連接的執(zhí)行模塊、通信模塊和電源模塊,通信模塊與提拉軟軸電連接,且提拉軟軸用于為通信模塊傳輸信號(hào)。本發(fā)明實(shí)施例通過利用提拉軟軸傳輸信號(hào),通過有線傳輸?shù)姆绞剑朔藛尉t的爐體對(duì)于信號(hào)的屏蔽,不需要多次開啟和關(guān)閉單晶爐,此外,也不需要單獨(dú)設(shè)置傳輸?shù)男盘?hào)線,不會(huì)對(duì)單晶爐的密閉效果造成影響,有利于提高測(cè)試效率和測(cè)試準(zhǔn)確程度。