隔離閥蓋裝置和單晶爐

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110035452.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN112877767A 公開（公告）日 2021-06-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN112877767A 申請(qǐng)公布日 2021-06-01
分類號(hào) C30B15/00;C30B29/06 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 吳世海 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 西安奕斯偉設(shè)備技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 許靜;陳麗寧
地址 710000 陜西省西安市高新區(qū)丈八街辦瞪羚路26號(hào)西安理工大學(xué)科技園E2-002
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種隔離閥蓋裝置，用于隔離單晶爐中的主爐室和副爐室，包括閥蓋板和閥板軸，所述閥板軸上設(shè)置有第一進(jìn)水口和第一出水口，所述閥蓋板內(nèi)均勻分布有多個(gè)相互連通的環(huán)形水槽，所述閥蓋板上還設(shè)置有通過進(jìn)水管路與所述第一進(jìn)水口連通的第二進(jìn)水口，以及通過出水管路與所述第一出水口連通的第二出水口。本發(fā)明還涉及一種單晶爐。