一種整體式硅片翻轉(zhuǎn)裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201920643382.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN210142642U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-03-13 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN210142642U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-03-13 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L21/677 | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 張學(xué)強(qiáng);戴軍;張建偉;羅銀兵 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 羅博特科智能科技南通有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 蘇州市中南偉業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 羅博特科智能科技南通有限公司 |
| 地址 | 226000 江蘇省南通市開(kāi)發(fā)區(qū)中央路76號(hào)海關(guān)大樓223-17室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及硅片加工設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及一種整體式硅片翻轉(zhuǎn)裝置。通過(guò)驅(qū)動(dòng)部件帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸上的多組取送料單元同步轉(zhuǎn)動(dòng)，確保翻轉(zhuǎn)時(shí)硅片不會(huì)產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)偏移，吸板以及輔助吸取部件吸住硅片后旋轉(zhuǎn)180度，放下下面的硅片，上面吸板以及輔助吸取部件吸住來(lái)料的硅片，實(shí)現(xiàn)不間斷旋轉(zhuǎn)，一次性對(duì)吸板上吸取的多有硅片進(jìn)行翻轉(zhuǎn)，提高了設(shè)備生產(chǎn)的效率,自動(dòng)化程度高，克服了現(xiàn)有人工手動(dòng)翻轉(zhuǎn)硅片效率低下、容易出現(xiàn)二次污染硅片、碎片率高的缺陷。 |
