一種硅片取放機(jī)構(gòu)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021379812.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN213026074U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-04-20 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN213026074U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-04-20 |
| 分類號(hào) | H01L21/677(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 吳廷斌;張學(xué)強(qiáng);張建偉;羅銀兵;李學(xué)文 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 羅博特科智能科技南通有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 蘇州市中南偉業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 劉相宇 |
| 地址 | 226000江蘇省南通市開(kāi)發(fā)區(qū)中央路76號(hào)海關(guān)大樓223-17室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及硅片搬運(yùn)設(shè)備領(lǐng)域，涉及一種硅片取放機(jī)構(gòu)。本實(shí)用新型通過(guò)取放抓手將硅片從花籃與石墨舟之間進(jìn)行相互搬運(yùn)，可同時(shí)對(duì)應(yīng)處理2石墨舟，4花籃或8花籃上的硅片取放需求，極大的提高了硅片取放效率，通在雙面移動(dòng)軌道兩側(cè)設(shè)置兩個(gè)取放組件，即4個(gè)取放部件兩兩背靠背設(shè)置在雙面移動(dòng)軌道上，每個(gè)取放部件進(jìn)行獨(dú)立工作，X軸驅(qū)動(dòng)部件可快速響應(yīng)產(chǎn)能需要以及取放部件在雙面移動(dòng)軌道上遠(yuǎn)距離搬運(yùn)硅片需求。?? |
