一種超高精度平面鏡全口徑中頻面形測(cè)量裝置及方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110301016.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113091637B 公開（公告）日 2022-06-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN113091637B 申請(qǐng)公布日 2022-06-28
分類號(hào) G01B11/24（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 張帥;侯溪;胡小川;李佳慧 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所
代理機(jī)構(gòu) 北京科迪生專利代理有限責(zé)任公司 代理人 -
地址 610209四川省成都市雙流350信箱
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種超高精度平面鏡全口徑中頻面形測(cè)量裝置及方法，測(cè)量裝置用于測(cè)量超高精度平面鏡全口徑中頻面形，裝置包括：白光干涉儀、顯微物鏡、軸向位移臺(tái)、傾斜調(diào)整臺(tái)、升降裝置、兩個(gè)標(biāo)準(zhǔn)鏡及自準(zhǔn)直儀以及計(jì)算機(jī)系統(tǒng)和大理石基座。白光干涉儀安裝在大理石橫梁上的升降裝置上；軸向位移臺(tái)以及傾斜調(diào)整臺(tái)組成的測(cè)量平臺(tái)安裝在大理石基座上，通過兩個(gè)垂直安裝的自準(zhǔn)直儀測(cè)角系統(tǒng)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)測(cè)量過程中待測(cè)超高精度平面鏡的空間姿態(tài)；計(jì)算機(jī)系統(tǒng)與白光干涉儀相連，收集超高精度平面鏡子孔徑區(qū)域面形信息；通過調(diào)整平移臺(tái)獲得超高精度平面鏡下一子孔徑內(nèi)面形信息，最后根據(jù)自準(zhǔn)直儀檢測(cè)數(shù)據(jù)結(jié)合拼接數(shù)據(jù)處理軟件，獲得超高精度平面鏡全口徑面形誤差。