一種標(biāo)定干涉法測量面形中的回程誤差的裝置及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110318218.1 申請日 -
公開（公告）號 CN113091638B 公開（公告）日 2022-06-28
申請公布號 CN113091638B 申請公布日 2022-06-28
分類號 G01B11/24（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 劉鋒偉;鄧婷;陳強(qiáng);吳永前;覃蝶;徐淑靜 申請（專利權(quán)）人 中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所
代理機(jī)構(gòu) 北京科迪生專利代理有限責(zé)任公司 代理人 -
地址 610209四川省成都市雙流350信箱
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種標(biāo)定干涉法測量面形中的回程誤差的裝置及方法，屬于光學(xué)檢測領(lǐng)域。該方法通過控制反射鏡的位移及偏轉(zhuǎn)，記錄光斑偏離位置與Zernike多項式前36階像差系數(shù)的關(guān)系來對系統(tǒng)的回程誤差進(jìn)行標(biāo)定。具體通過五維電控微位移臺控制反射鏡發(fā)生微位移，使反射鏡反射的光斑在視場范圍內(nèi)進(jìn)行規(guī)律移動，記錄不同光斑位置與Zernike多項式前36階像差系數(shù)的關(guān)系，然后進(jìn)行曲面擬合。當(dāng)載物臺放置待測反射鏡時，通過找到光斑位置來依據(jù)擬合得到的曲面求解Zernike多項式的各項系數(shù)，組合各階像差即可得到反射鏡在該位置的回程誤差。此方法針對在高精度測量時，回程誤差不能調(diào)零的情況，具有結(jié)構(gòu)簡單、精度較高、實用性強(qiáng)的優(yōu)點。