一種鈀合金氫氣傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010750966.2 申請日 -
公開（公告）號 CN111948342B 公開（公告）日 2021-07-20
申請公布號 CN111948342B 申請公布日 2021-07-20
分類號 G01N33/00;G01K7/16 分類 測量；測試;
發(fā)明人 周正超;謝志訊;朱洋凱;何紅軍 申請（專利權(quán)）人 南京力通達(dá)電氣技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海精晟知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 劉寧
地址 210000 江蘇省南京市秦淮區(qū)永順路2號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種鈀合金氫氣傳感器，涉及傳感器技術(shù)領(lǐng)域，包括基板、半導(dǎo)體制冷制熱片、硅襯底、測溫電阻、絕緣屏蔽層、兩個(gè)測溫電阻輸出端、第一鈀薄膜電阻、第二鈀薄膜電阻、4個(gè)傳輸線和4個(gè)鈀傳感器輸出端，解決了為鈀薄膜傳感器提供良好的工作溫度范圍的技術(shù)問題，本發(fā)明采用了鈀薄膜傳感器結(jié)合半導(dǎo)體制熱、制冷技術(shù)來保證芯片工作在一個(gè)穩(wěn)定的環(huán)境之中。使傳感器的精度更高、測量的數(shù)據(jù)更準(zhǔn)、同時(shí)還極大的延長了傳感器的使用壽命，本發(fā)明在鈀薄膜電阻上增加了絕緣屏蔽層，增加了傳感器的抗干擾能力，本發(fā)明將測溫電阻盡可能的包圍兩個(gè)鈀薄膜傳感器，使測溫值更加準(zhǔn)確。