整體鑄造型光刻機(jī)物鏡冷卻水套
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202020207373.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212060866U | 公開（公告）日 | 2020-12-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212060866U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-12-01 |
| 分類號(hào) | G03F7/20(2006.01)I | 分類 | 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 馬宏超 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 蘇州美邁快速制造技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京科億知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 湯東鳳 |
| 地址 | 215000江蘇省蘇州市吳江區(qū)黎里鎮(zhèn)汾湖大道558號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及應(yīng)用于光刻機(jī)物鏡冷卻領(lǐng)域，尤其涉及一種整體鑄造型光刻機(jī)物鏡冷卻水套。一種整體鑄造型光刻機(jī)物鏡冷卻水套，包括內(nèi)套、不銹鋼彎管以及砂模組件，其特征在于：所述內(nèi)套套在砂模組件當(dāng)中，所述不銹鋼彎管盤在內(nèi)套上，且所述不銹鋼彎管通過電焊的的方式設(shè)置在內(nèi)套外壁。本實(shí)用新型的有益之處：不銹鋼盤管焊在一個(gè)不銹鋼內(nèi)套上，保證了盤管尺寸誤差在±1mm左右，從而保證了鑄件后期加工不會(huì)把不銹鋼彎管加工穿漏。?? |
