一種空氣芯微同軸傳輸線的制造方法及生物傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111453342.5 申請日 -
公開（公告）號 CN114188691A 公開（公告）日 2022-03-15
申請公布號 CN114188691A 申請公布日 2022-03-15
分類號 H01P11/00（2006.01）I;H01P3/08（2006.01）I;H01P3/06（2006.01）I;G01N27/327（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 于新元;楊云春;裘進;陸原 申請（專利權(quán)）人 賽萊克斯微系統(tǒng)科技（北京）有限公司
代理機構(gòu) 北京眾達德權(quán)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 張桂蓉
地址 100176北京市大興區(qū)北京經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)科創(chuàng)十四街99號33幢D棟二層2208號（集中辦公區(qū)）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種空氣芯微同軸傳輸線的制造方法及生物傳感器，所述制造方法包括：在襯底上形成微同軸傳輸線的外軸底層；在所述外軸底層上形成支撐層；在所述外軸底層上形成所述微同軸傳輸線的第一部分外軸側(cè)壁，所述第一部分外軸側(cè)壁與所述支撐層等高；在所述支撐層上形成所述微同軸傳輸線的內(nèi)軸；在所述第一部分外軸側(cè)壁上形成第二部分外軸側(cè)壁，得到所述微同軸傳輸線的外軸側(cè)壁；在所述外軸側(cè)壁上形成所述微同軸傳輸線的外軸頂層，得到所述微同軸傳輸線。采用該制造方法得到的空氣芯微同軸傳輸線形成傳感器探頭，還可以大大降低探頭的損耗，以提高傳感器的檢測靈敏度。