一種微同軸及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111513290.6 申請日 -
公開（公告）號 CN114203629A 公開（公告）日 2022-03-18
申請公布號 CN114203629A 申請公布日 2022-03-18
分類號 H01L21/768（2006.01）I;H01L23/538（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王志良;趙利芳;裘進(jìn);陸原;李佩笑;陳學(xué)志;張光瑞;張栓 申請（專利權(quán)）人 賽萊克斯微系統(tǒng)科技（北京）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京眾達(dá)德權(quán)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 查薇
地址 100176北京市大興區(qū)北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)科創(chuàng)十四街99號33幢D棟二層2208號（集中辦公區(qū)）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種微同軸及其制備方法，制備方法包括：在第一晶圓上制備第一導(dǎo)體部，并釋放光刻膠；在第二晶圓上制備凹槽結(jié)構(gòu)的第二導(dǎo)體部和所述第二導(dǎo)體部內(nèi)的內(nèi)導(dǎo)體，并釋放光刻膠；將所述第一導(dǎo)體部和所述第二導(dǎo)體部焊接以對所述第二導(dǎo)體部上的凹槽進(jìn)行封口形成微同軸的外導(dǎo)體；其中，所述內(nèi)導(dǎo)體和所述外導(dǎo)體組成所述微同軸。本發(fā)明的微同軸制備方法將外導(dǎo)體分割為第一導(dǎo)體部和第二導(dǎo)體部，并分別制作在第一晶圓的第一端面和第二晶圓的第二端面上，第一導(dǎo)體部和第二導(dǎo)體部均未形成封閉結(jié)構(gòu)，便于釋放第一晶圓和第二晶圓上的光刻膠，降低了制備微同軸過程中光刻膠的釋放難度。