一種晶圓運輸機械手

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111277290.0 申請日 -
公開（公告）號 CN114131621A 公開（公告）日 2022-03-04
申請公布號 CN114131621A 申請公布日 2022-03-04
分類號 B25J11/00（2006.01）I;B25J15/06（2006.01）I;B65G47/91（2006.01）I;B65G49/07（2006.01）I 分類 手動工具；輕便機動工具；手動器械的手柄；車間設(shè)備；機械手;
發(fā)明人 陳文波;楊云春;郭鵬飛;陸原 申請（專利權(quán)）人 賽萊克斯微系統(tǒng)科技（北京）有限公司
代理機構(gòu) 北京眾達德權(quán)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 劉天虹
地址 100176北京市大興區(qū)北京經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)科創(chuàng)十四街99號33幢D棟二層2208號（集中辦公區(qū)）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了晶圓運輸機械手，主體；兩個吸附臂，間隔設(shè)置在所述主體上，所述兩個吸附臂上均間隔設(shè)置有兩個以上真空孔；兩個以上負壓管路，各所述負壓管路均與至少兩個所述真空孔連通，以構(gòu)成吸附系統(tǒng)；各所述吸附系統(tǒng)的最大真空孔間距不同。可以同時適用于兩種以上尺寸晶圓的抓取搬運，提高了晶圓運輸機械手的兼容性，能很大程度上提高晶圓的生產(chǎn)效率。吸附系統(tǒng)中的至少兩個真空孔作為吸附支點，以通過至少兩個吸附支點平穩(wěn)抓取運輸晶圓。且各所述吸附系統(tǒng)的最大真空孔間距不同，使得晶圓運輸機械手可通過兩個以上的吸附系統(tǒng)抓取搬運運輸不同尺寸的晶圓，比如四寸、六寸、八寸和十二寸中的至少兩種晶圓。