一種金剛石生長的基片臺結(jié)構(gòu)及其使用方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110209128.9 申請日 -
公開（公告）號 CN112831835A 公開（公告）日 2021-05-25
申請公布號 CN112831835A 申請公布日 2021-05-25
分類號 C30B29/04;C30B25/12 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 余軍火;王連忠;王斌;盧澤;楊成武 申請（專利權(quán)）人 廊坊西波爾鉆石技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京維正專利代理有限公司 代理人 侯巍巍
地址 065000 河北省廊坊市大廠潮白河工業(yè)區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及單晶金剛石生長技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種金剛石生長的基片臺結(jié)構(gòu)及其使用方法，其技術(shù)方案要點(diǎn)是：基片臺結(jié)構(gòu)包括鉬片，鉬片上設(shè)置有多個活動插銷，活動插銷向鉬片的一端面外側(cè)延伸，多個活動插銷將鉬片劃分成多個籽晶生長區(qū)域；活動插銷與鉬片滑動連接；達(dá)到了方便將金剛石從基片臺上取下以提高基片臺的重復(fù)利用性，進(jìn)而降低單晶金剛石生長的成本的目的。