一種金剛石生長(zhǎng)的基片臺(tái)結(jié)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120411661.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN214361837U 公開（公告）日 2021-10-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN214361837U 申請(qǐng)公布日 2021-10-08
分類號(hào) C30B29/04（2006.01）I;C30B25/12（2006.01）I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 余軍火;王連忠;王斌;盧澤;楊成武 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 廊坊西波爾鉆石技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京維正專利代理有限公司 代理人 侯巍巍
地址 065000河北省廊坊市大廠潮白河工業(yè)區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)涉及單晶金剛石生長(zhǎng)技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種金剛石生長(zhǎng)的基片臺(tái)結(jié)構(gòu)，其技術(shù)方案要點(diǎn)是：包括鉬片，鉬片上設(shè)置有多個(gè)活動(dòng)插銷，活動(dòng)插銷向鉬片的一端面外側(cè)延伸，多個(gè)活動(dòng)插銷將鉬片劃分成多個(gè)籽晶生長(zhǎng)區(qū)域；活動(dòng)插銷與鉬片滑動(dòng)連接；達(dá)到了方便將金剛石從基片臺(tái)上取下以提高基片臺(tái)的重復(fù)利用性，進(jìn)而降低單晶金剛石生長(zhǎng)的成本的目的。