一種半導體零部件的清洗液過濾裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021435491.X 申請日 -
公開（公告）號 CN213854162U 公開（公告）日 2021-08-03
申請公布號 CN213854162U 申請公布日 2021-08-03
分類號 B01F7/24（2006.01）I;B01F3/22（2006.01）I;B01F15/00（2006.01）I;B01D36/02（2006.01）I 分類 一般的物理或化學的方法或裝置;
發(fā)明人 陳如明;陳彩麗;卜慶磊;楊子健 申請（專利權）人 英迪那米（徐州）半導體科技有限公司
代理機構 北京權智天下知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 徐小淇
地址 221600江蘇省徐州市經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)廟山路1號2號廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種半導體零部件的清洗液過濾裝置，其特征在于：包括過濾箱、橫板、輥軸、驅(qū)動機構及若干個過濾盒，所述橫板固定安裝在所述過濾箱內(nèi)，且其上開設有若干個篩孔，所述輥軸轉(zhuǎn)動安裝在所述橫板與所述過濾箱的頂板之間，所述驅(qū)動機構安裝在所述過濾箱的頂部，且其與所述輥軸傳動連接，所述輥軸的外圓周面上固定套接有螺旋葉片，所述過濾盒可拆卸式的密封固定在所述過濾箱的箱壁上，且其內(nèi)填充有活性炭顆粒，本實用新型與現(xiàn)有技術相比的優(yōu)點在于：實現(xiàn)過濾箱內(nèi)清洗液的充分混合，保證了半導體零部件的清洗效率和質(zhì)量，同時，大大減少了清洗液中的雜質(zhì)顆粒含量，保證了半導體零部件表面的潔凈，保障半導體的生產(chǎn)質(zhì)量。