一種封閉式半導(dǎo)體零部件清洗裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021422227.2 申請日 -
公開（公告）號 CN213495190U 公開（公告）日 2021-06-22
申請公布號 CN213495190U 申請公布日 2021-06-22
分類號 B08B3/02（2006.01）I;B08B7/00（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 陳如明;陳彩麗;卜慶磊 申請（專利權(quán)）人 英迪那米（徐州）半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京權(quán)智天下知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 徐小淇
地址 221600江蘇省徐州市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)廟山路1號2號廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種封閉式半導(dǎo)體零部件清洗裝置，包括工作箱體、導(dǎo)軌、絲杠及電機(jī)，工作箱體的頂端通過合頁鉸接設(shè)有箱蓋，箱蓋的內(nèi)部設(shè)有噴槍，噴槍連通冷源，箱體的底面鋪設(shè)有電熱管；導(dǎo)軌及絲杠垂直設(shè)于箱體的內(nèi)部，三根導(dǎo)軌分別固定設(shè)于箱體的三個(gè)轉(zhuǎn)角處，導(dǎo)軌上滑動(dòng)設(shè)有滑塊，絲杠位于箱體剩余的轉(zhuǎn)角處，絲杠上滑動(dòng)設(shè)有滾珠滑臺，三個(gè)滑塊與滾珠滑臺間通過橫梁依次連接并構(gòu)成矩形框體，矩形框體內(nèi)鋪設(shè)濾網(wǎng)；驅(qū)動(dòng)電機(jī)位于工作箱體外，且?guī)?dòng)絲杠旋轉(zhuǎn)。本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體清洗技術(shù)領(lǐng)域，與現(xiàn)有技術(shù)相比的優(yōu)點(diǎn)在于：結(jié)構(gòu)簡單、驟冷驟熱效果好。