一種單面板高精度開窗方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610713095.0 申請日 -
公開（公告）號 CN106170183A 公開（公告）日 2016-11-30
申請公布號 CN106170183A 申請公布日 2016-11-30
分類號 H05K3/06(2006.01)I 分類 其他類目不包含的電技術(shù);
發(fā)明人 王健;孫彬 申請（專利權(quán)）人 山東藍(lán)色電子科技有限公司
代理機構(gòu) 東營雙橋?qū)＠碛邢挢?zé)任公司 代理人 山東藍(lán)色電子科技有限公司
地址 257091 山東省東營市經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)黃河路南、規(guī)劃四路西
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種單面板高精度開窗方法。其技術(shù)方案是包含以下步驟：1.?對雙面銅箔基材干膜貼附；2.曝光顯影、3.蝕刻；4退膜、5.激光開窗：使用UV?Yag?或CO2激光對大于開窗區(qū)域進(jìn)行激光腐蝕,6.貼膜、7.蝕刻8.退膜9.等離子清洗：通過等離子清洗去除激光殘留碳化層，得到最終的高精度開窗，該方法獲得的開窗精度可達(dá)25um。本發(fā)明的有益效果是：本發(fā)明實現(xiàn)了將開窗精度提高的25um級別，其方法簡單，實現(xiàn)容易，面對一些特殊要求的工藝，可以滿足其要求，并且實現(xiàn)了工業(yè)化生產(chǎn)，提高了經(jīng)濟(jì)效益。