一種用于發(fā)光二極管生產的外延片清洗裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201720222393.X 申請日 -
公開（公告）號 CN206595229U 公開（公告）日 2017-10-27
申請公布號 CN206595229U 申請公布日 2017-10-27
分類號 H01L21/02(2006.01)I;H01L33/00(2010.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 金程緣;孫彬 申請（專利權）人 山東藍色電子科技有限公司
代理機構 東營雙橋專利代理有限責任公司 代理人 山東藍色電子科技有限公司
地址 257091 山東省東營市經濟開發(fā)區(qū)黃河路南、規(guī)劃四路西
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種用于發(fā)光二極管生產的外延片清洗裝置，包括裝置本體和傳動裝置，所述裝置本體的中部貫穿有傳動裝置，所述傳動裝置的履帶表面設有若干防水吸盤，所述傳動裝置的上方設有噴頭，所述噴頭與液體管道的出水端聯(lián)通，所述液體管道的入水端設于裝置本體內腔的底部，所述液體管道從下向上依次設有增壓泵、逆止閥和壓力貯水罐，所述裝置本體內壁下方設有濾網。通過設置濾網、液體管道和增壓泵，實現(xiàn)了液體的循環(huán)清洗，減少了大量的生產成本，通過設置傳動裝置，使得外延片的清洗自動進行，節(jié)省大量的人力，通過設置逆止閥，防止停磊時壓力水回流，通過設置壓力貯水罐，減少增壓泵的頻繁啟動。