一種層間互連工藝

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610713111.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN106255346A 公開（公告）日 2016-12-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN106255346A 申請(qǐng)公布日 2016-12-21
分類號(hào) H05K3/40(2006.01)I 分類 其他類目不包含的電技術(shù);
發(fā)明人 王健;孫彬 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 山東藍(lán)色電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 東營雙橋?qū)＠碛邢挢?zé)任公司 代理人 山東藍(lán)色電子科技有限公司
地址 257091 山東省東營市經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)黃河路南、規(guī)劃四路西
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及電路板制造領(lǐng)域，特別涉及一種層間互連工藝。其技術(shù)方案是采用以下步驟：一是對(duì)銅面進(jìn)行粗化處理；二是通過wire?bonding設(shè)備，對(duì)需要互連的銅面進(jìn)行金凸制作，金凸高度50~70um；三是覆蓋膠層，膠厚25um；四是將另一面銅與其對(duì)位熱壓合，溫度140度，連續(xù)壓合4小時(shí)，完成層間互連。本發(fā)明的有益效果是：解決了現(xiàn)有技術(shù)中存在的流程復(fù)雜，濕制程對(duì)產(chǎn)品漲縮有較大影響問題，本發(fā)明采用干制程方案，步驟簡單，避免了對(duì)產(chǎn)品產(chǎn)生漲縮的問題。