一種Plasma機(jī)器均勻性測(cè)試方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011523718.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN112781901A 公開(kāi)（公告）日 2021-05-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN112781901A 申請(qǐng)公布日 2021-05-11
分類號(hào) G01M99/00 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 徐慧娟 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 東莞美維電路有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京風(fēng)雅頌專利代理有限公司 代理人 范小鳳
地址 523125 廣東省東莞市東城區(qū)外經(jīng)工業(yè)園區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種Plasma機(jī)器均勻性測(cè)試方法，其包括如下步驟：步驟一、準(zhǔn)備若干測(cè)試片，將測(cè)試片烘烤后放進(jìn)干燥皿里冷卻至常溫后稱重并做標(biāo)記；步驟二、將測(cè)試片分別放進(jìn)覆銅治具板內(nèi)；步驟三、將覆銅冶具板及若干覆銅假板以一定規(guī)律放入于Plasma機(jī)內(nèi)；步驟四、Plasma測(cè)試；步驟五、Plasma做完后，將測(cè)試片自覆銅冶具板內(nèi)拆下，然后將測(cè)試片進(jìn)行烘烤，之后放進(jìn)干燥皿里進(jìn)行冷卻至常溫，再對(duì)測(cè)試片進(jìn)行稱重；步驟六、結(jié)果計(jì)算，九個(gè)區(qū)域的測(cè)試結(jié)果百分比均需≥70％才算合格。本發(fā)明對(duì)整個(gè)Plasma機(jī)的均勻性及生產(chǎn)產(chǎn)品時(shí)的穩(wěn)定性，進(jìn)行全方面的評(píng)估和監(jiān)控，從而可確保Plasma機(jī)投入量產(chǎn)時(shí)性能穩(wěn)定、產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定。