一種SE激光過(guò)程通氧裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202122070825.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN216054748U | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-03-15 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN216054748U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-03-15 |
| 分類號(hào) | H01L31/18（2006.01）I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 張滿滿;樂(lè)雄英;張雙玉 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 江蘇潤(rùn)陽(yáng)悅達(dá)光伏科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 常州佰業(yè)騰飛專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 毛姍 |
| 地址 | 224005江蘇省鹽城市鹽城市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)湘江路58號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型屬于太陽(yáng)能電池制備設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種SE激光過(guò)程通氧裝置，包括噴淋機(jī)構(gòu)、收集機(jī)構(gòu)、氣體過(guò)濾器和真空泵，所述噴淋機(jī)構(gòu)包括噴淋板和進(jìn)氣管，所述收集機(jī)構(gòu)包括收集板和排氣管，所述噴淋板、硅片和收集板從上至下依次設(shè)置，所述硅片分別與噴淋板和收集板之間均具有間隙，所述噴淋板靠近硅片的一側(cè)開(kāi)設(shè)有噴氣孔，所述收集板靠近硅片的一側(cè)開(kāi)設(shè)有集氣孔，所述進(jìn)氣管與噴氣孔連通，所述排氣管與集氣孔連通，所述氣體過(guò)濾器的進(jìn)氣端與排氣管連通，所述氣體過(guò)濾器的出氣端與真空泵的進(jìn)氣端連通。 |
