一種太陽能電池硼硅玻璃鈍化方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110828340.3 申請日 -
公開（公告）號 CN113644161A 公開（公告）日 2021-11-12
申請公布號 CN113644161A 申請公布日 2021-11-12
分類號 H01L31/18（2006.01）I;H01L31/0216（2014.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張雙玉;張滿滿;樂雄英;陸祥 申請（專利權）人 江蘇潤陽悅達光伏科技有限公司
代理機構 常州佰業(yè)騰飛專利代理事務所（普通合伙） 代理人 李靜
地址 224005江蘇省鹽城市經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)湘江路58號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種太陽能電池硼硅玻璃鈍化方法，S1、對太陽能電池片進行表面處理，形成有效的絨面結構；S2、通過熱擴散工藝，在形成絨面結構的所述太陽能電池片上生成一層厚度為80?120nm的硼硅玻璃層；S3、使用低濃度的氫氟酸腐蝕掉部分所述的硼硅玻璃層，保留厚度為10?25nm的硼硅玻璃層，即完成鈍化。本發(fā)明的鈍化方法保留了厚度為10?25nm的硼硅玻璃介質層，這層介質層會有類似于氧化硅的鈍化作用，能夠很好地提高電池片的效率；常規(guī)N型電池在完全去除硼硅玻璃層后，通常采用熱氧或濕氧方式，在正面生成一層氧化硅鈍化層，本發(fā)明的鈍化方法取消了這一步驟，直接用擴散形成的硼硅玻璃層進行鈍化，在減少工藝步驟的同時，確保電池品的效率，也降低的電池制作成本。