一種背面預(yù)蝕的封裝結(jié)構(gòu)的封裝工藝

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110359132.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113192899A 公開(kāi)（公告）日 2021-07-30
申請(qǐng)公布號(hào) CN113192899A 申請(qǐng)公布日 2021-07-30
分類號(hào) H01L23/31（2006.01）I;H01L21/56（2006.01）I;H01L23/495（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 吳奇斌;吳瑩瑩;李華 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江陰蘇陽(yáng)電子股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 江陰市揚(yáng)子專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 周青
地址 214421江蘇省無(wú)錫市江陰市華士鎮(zhèn)向陽(yáng)村向陽(yáng)路1號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種背面預(yù)蝕的封裝結(jié)構(gòu)的封裝工藝，本發(fā)明在金屬基板的正面和背面同時(shí)進(jìn)行化學(xué)蝕刻，背面位置可與正面蝕刻位置錯(cuò)開(kāi)，背面蝕刻形狀與尺寸不受限制，因此可以根據(jù)產(chǎn)品需要在背面蝕刻出固定的形狀和深度，可根據(jù)需求定制，解決了目前芯片尺寸受限的難題，正面可貼裝較大尺寸芯片；本發(fā)明的背面預(yù)蝕提高了蝕刻精度，減少后續(xù)的蝕刻時(shí)間及難度，提高了封裝效率，同時(shí)減少?gòu)U銅的排放，保護(hù)環(huán)境的同時(shí)節(jié)省能源。