植入式微針尖電極及其制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201110247840.4 申請日 -
公開（公告）號 CN102289148B 公開（公告）日 2013-09-11
申請公布號 CN102289148B 申請公布日 2013-09-11
分類號 G03F7/00(2006.01)I;G03F7/26(2006.01)I;G03F7/039(2006.01)I;A61B5/04(2006.01)I;A61N1/05(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 李志宏;余懷強;王朔;王瑋 申請（專利權(quán)）人 析芒（寧波）生物微系統(tǒng)有限公司
代理機構(gòu) 北京路浩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王瑩
地址 100871 北京市海淀區(qū)頤和園路5號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種植入式微針尖電極及其制作方法，涉及微電子機械系統(tǒng)和植入式微電極技術(shù)領(lǐng)域，所述方法包括以下步驟：A：在鍍有鋁膜(1)的硅片(2)上制作聚對二甲苯-金屬合金-聚對二甲苯結(jié)構(gòu)的金屬電極層，包括：刺激點(3)、互連線(4)和引線接點(5)；B：通過光刻、電鍍制作金屬鎳或鎳合金機械支撐層，包括金屬鎳或鎳合金微針尖(6)和引線接點底座支撐體(7)；C：濕法腐蝕鋁膜犧牲層，正面鍵合干膜(8)，背面氧等離子體刻蝕，直至暴露出刺激點和引線接點；D：濕法腐蝕所述干膜，并用去離子水清洗，得到微針尖電極。本發(fā)明具有機械性能高、生物兼容性好、植入方便、對組織損傷輕微、尺寸精確可控、靈敏度高、可靠性高的特點。