一種釹鐵硼稀土永磁器件的磁控鍍膜設(shè)備及制造方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201410107515.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN103820766B 公開（公告）日 2016-04-06
申請(qǐng)公布號(hào) CN103820766B 申請(qǐng)公布日 2016-04-06
分類號(hào) C23C14/35(2006.01)I;H01F1/057(2006.01)I;H01F41/02(2006.01)I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 陳曉東;孫寶玉 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 沈陽(yáng)中北真空設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 110168 遼寧省沈陽(yáng)市近海經(jīng)濟(jì)區(qū)近海大街19號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種釹鐵硼稀土永磁器件的磁控鍍膜設(shè)備及制造方法，該鍍膜設(shè)備包括真空鍍膜室、圓柱磁控靶源、陽(yáng)極層線性離子源、加熱裝置、轉(zhuǎn)架和網(wǎng)狀料筐；轉(zhuǎn)架設(shè)計(jì)在真空鍍膜室內(nèi)，通過(guò)支撐軸固定在框架上，框架固定在臥式真空殼體上，轉(zhuǎn)架的軸線與臥式真空殼體的軸線平行，網(wǎng)狀料筐兩端有轉(zhuǎn)軸安裝在轉(zhuǎn)架上，轉(zhuǎn)軸的軸線與轉(zhuǎn)架的軸線平行，轉(zhuǎn)架圍繞真空殼體的軸線做太陽(yáng)公轉(zhuǎn)，網(wǎng)狀料筐做行星轉(zhuǎn)動(dòng)即隨轉(zhuǎn)架一起公轉(zhuǎn)加自轉(zhuǎn)。真空鍍膜室轉(zhuǎn)架內(nèi)安裝有一個(gè)以上的圓柱磁控靶，所述的圓柱磁控靶分別安裝在轉(zhuǎn)架的內(nèi)部和外部；采用本發(fā)明的磁控濺射鍍膜作稀土永磁器件的表面處理工序，不僅提高了稀土永磁器件的抗腐蝕能力，同時(shí)也提高了稀土永磁器件的磁性能。